Speaker
Description
Иммерсионный объектив является основным элементом электронно-оптического тракта эмиссионного микроскопа, ответственным за ускорение вылетевших из точек поверхности катода электронов и формирование первичного увеличенного электронного изображения этой поверхности. Для оценки качества изображения используется аберрация второго порядка малости, которая, как известно, принципиально не зависит от пространственного распределения потенциала в объективе. При этом качество изображения определяется только закономерностями электронной эмиссии и напряженностью поля у поверхности катода.
В настоящей работе рассмотрена новая теоретическая возможность улучшения качества фокусировки иммерсионного объектива путем учета сферо-хроматических аберраций третьего порядка, зависящих также и от пространственного распределения поля.
Впервые рассчитаны фокусирующие свойства иммерсионного объектива, состоящего из плоского катода и соосных цилиндров равного диаметра, с учетом статистических закономерностей тока электронной эмиссии и сферохроматических аберраций до третьего порядка малости включительно. Существенное повышение разрешающей способности в плоскости гауссова изображения достигается в случае, когда электронно-оптический тракт иммерсионного объектива, кроме ускоряющего электрода, содержит дополнительный фокусирующий электрод, причем соотношения потенциалов на этих электродах определенным образом согласуются с параметрами электронной эмиссии.
Данное исследование финансировалось Комитетом науки Министерства науки и высшего образования Республики Казахстан (грант №AP14869293).
| Section | Radiation ecology and methods of analysis (Section 3) |
|---|
