Speaker
Description
Известно, что нейтронно-транмутационный кремний является одним из базовым материалом для производства силовых полупроводниковых приборов, где в качестве основного требования выдвигается высокая однородность распределение легированной примеси по всему объему кристалла. Наличие зависимости степени трансмутационного легирования кристалла от времени облучениях при постоянной платности нейтронного потока, позволяет регулировать концентрацию вводимой изотопной примеси Р31 в широких пределах с высокой точностью до ~1% и получить монокристаллический кремний с необходимым электрофизическим параметром. Кремний является одним из важным конструкционным материалом в микроэлектронике и находит широкое применение при изготовление различных гибридных продуктов нано-технологии.
| Section | Energy and materials science (Section 2) |
|---|
