Oct 7 – 11, 2024
Almaty, Kazakhstan
Asia/Almaty timezone

ИММЕРСИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УЛУЧШЕННОЙ ФОКУСИРОВКОЙ

Oct 8, 2024, 3:45 PM
15m
Conference hall №2 (409) (Almaty, Kazakhstan)

Conference hall №2 (409)

Almaty, Kazakhstan

The library building of the Al-Farabi Kazakh National University 71/27 Al-Farabi Avenue
Radiation ecology and methods of analysis (Section 3) Section 3 – “Radiation ecology and methods of analysis”

Speaker

Сеиткерим Бимурзаев (Алматинский университет энергетики и связи имени Г. Даукеева)

Description

Иммерсионный объектив является основным элементом электронно-оптического тракта эмиссионного микроскопа, ответственным за ускорение вылетевших из точек поверхности катода электронов и формирование первичного увеличенного электронного изображения этой поверхности. Для оценки качества изображения используется аберрация второго порядка малости, которая, как известно, принципиально не зависит от пространственного распределения потенциала в объективе. При этом качество изображения определяется только закономерностями электронной эмиссии и напряженностью поля у поверхности катода.
В настоящей работе рассмотрена новая теоретическая возможность улучшения качества фокусировки иммерсионного объектива путем учета сферо-хроматических аберраций третьего порядка, зависящих также и от пространственного распределения поля.
Впервые рассчитаны фокусирующие свойства иммерсионного объектива, состоящего из плоского катода и соосных цилиндров равного диаметра, с учетом статистических закономерностей тока электронной эмиссии и сферохроматических аберраций до третьего порядка малости включительно. Существенное повышение разрешающей способности в плоскости гауссова изображения достигается в случае, когда электронно-оптический тракт иммерсионного объектива, кроме ускоряющего электрода, содержит дополнительный фокусирующий электрод, причем соотношения потенциалов на этих электродах определенным образом согласуются с параметрами электронной эмиссии.

Данное исследование финансировалось Комитетом науки Министерства науки и высшего образования Республики Казахстан (грант №AP14869293).

Section Radiation ecology and methods of analysis (Section 3)

Primary authors

Prof. Евгений Якушев (Алматинский университет энергетики и связи имени Г. Даукеева) Сеиткерим Бимурзаев (Алматинский университет энергетики и связи имени Г. Даукеева)

Presentation materials